皮拉尼真空计和电离真空计的区别是什么？

一、核心原理

皮拉尼（Pirani）：热传导型 靠气体分子带走热丝热量，压力越高→散热越快→热丝温度越低；通过热丝电阻/加热功率换算压力。

电离真空计（热阴极B-A规为主）：碰撞电离型 阴极发射电子，电子撞击气体分子使其电离，收集极收集正离子；离子电流大小正比于气体分子密度（压力）。

二、量程对比（最关键区别）

• 皮拉尼：约 10⁻¹ Pa ～ 1000 Pa（粗真空、中真空） 压力太低时，气体导热几乎消失，测不了；压力接近大气还能勉强工作。
• 热阴极电离规（BA规）：约 10⁻⁹ Pa ～ 0.1 Pa（高真空、超高真空） 压力高于0.1Pa时，灯丝极易氧化烧毁，严禁在高压下通电。

  冷阴极电离规（潘宁规）：大概10⁻⁷～10⁻¹ Pa，无热灯丝、寿命长。

三、优缺点 & 使用特点

✅ 皮拉尼

• 优点：结构简单、便宜、不怕大气冲击、开机不用保护，适合粗抽阶段监测；响应快
• 缺点：下限不够高；读数和气体种类相关（导热系数不同）；精度一般
• 典型：OKANO冈野皮拉尼真空计、镀膜机粗抽监测

✅ 电离规（热阴极）

• 优点：能测超高真空，灵敏度极高
• 缺点：怕大气！一旦破空通电灯丝直接烧断；有灯丝出气、化学腐蚀风险；同样气体种类相关（电离截面不同）；价格贵
• 配套逻辑：一般和皮拉尼做复合规——皮拉尼先监测真空，到0.1Pa以下再自动开启电离规

四、简明汇总表