皮拉尼真空计（Pirani Gauge）原理

核心：气体热导率随压力变化，加热丝散热快慢反映真空度 它属于热传导式真空规，传感元件是一根铂/钨细电阻丝（灯丝），通电发热；灯丝同时是测温元件，电阻随温度变化，接入惠斯通电桥检测信号。

过程

1. 气压高（真空差）：气体分子多、碰撞频繁，带走灯丝热量多 → 灯丝温度低、电阻小
2. 气压低（真空好）：分子稀少，气体导热变弱 → 散热变少，灯丝温度升高、电阻变大

灯丝总散热分三块：气体分子导热（和压力相关，测量信号来源）、热辐射、支架固体导热（基本固定，属于底噪）

两种工作模式（冈野OKANO这类工业皮拉尼大多是恒温模式）

1. 恒温模式（恒电阻，常用） 反馈电路不断调节加热电流，把灯丝温度固定。压力越低，维持温度需要的加热功率越小，测功耗/电流换算压力，稳定性更好。
2. 恒流模式 给灯丝固定电流，测灯丝电阻变化，对应温度、压力；结构简单，但容易受环境温度干扰。

要点

• 量程：一般约 0.1 Pa ～ 1000 Pa（10⁻³ mbar ~ 10 mbar），粗真空、中真空区间
• 缺点：读数和气体种类有关（氮气、氩气、氢气导热能力不一样，换气体要重新校准）；极限真空再高时，气体导热几乎消失，没法继续测量
• 标配温度补偿电阻，抵消环境温度漂移，也是惠斯通电桥的一臂