皮拉尼真空计和电离真空计的优缺点分别是什么？
皮拉尼真空计（Pirani）
✅ 优点
- 结构简单、成本低，不容易损坏
- 可承受大气冲击，破空不会烧毁，无需真空保护联锁
- 响应速度较快，一般50～200ms
- 连续测量粗真空、中真空（0.1 Pa～1000 Pa），适合粗抽阶段监测
- 可以长时间连续通电，待机功耗低
❌ 缺点
- 读数和气体种类相关（导热系数不同），换气体需要修正
- 测量下限有限，低于0.1 Pa左右灵敏度急剧下降，不能测高真空
- 精度一般，容易受环境温度影响（带温度补偿会改善）
- 热丝长期使用会老化、零点漂移
热阴极电离真空计（BA规，最常用电离规）
✅ 优点
- 测量下限极低，可测高真空、超高真空（约10⁻⁹ Pa～0.1 Pa）
- 真空区间灵敏度高，适合镀膜、溅射、分析仪器等高真空腔体监测
- 分辨率远高于皮拉尼，适合判断腔体漏率
❌ 缺点
- 最怕大气：压力高于0.1Pa时通电，灯丝瞬间氧化烧断，必须加真空联锁保护
- 读数同样和气体种类有关（电离截面差异）
- 热阴极会出气、容易被油气、腐蚀性气体污染中毒
- 灯丝有寿命，属于消耗件，价格偏高
- 开机需要预热，系统还要搭配皮拉尼做压力判断
补充：冷阴极电离规（潘宁规，属于电离规的一种）
✅ 优点：无热灯丝、寿命长、不怕短时大气冲击，量程10⁻⁷～0.1 Pa ❌ 缺点：低压下容易熄辉、有滞后、精度比热阴极BA规差
快速总结
- 皮拉尼：耐造、便宜、粗抽用，测不了高真空、气体有影响
- 热阴极电离规：能测超高真空、灵敏度高，但娇气、怕大气、有灯丝寿命