什么是皮拉尼真空计?

 

什么是皮拉尼真空计?

皮拉尼真空计

皮拉尼真空计是一种利用电阻来测量真空度的传感器。

皮拉尼真空计装置体积小、携带方便、操作方便,因此在很多场合用于测量真空度。皮拉尼真空计也称为皮拉尼真空计或简称皮拉尼。

皮拉尼真空计的特点是结构简单、成本低廉。当探头安装在测量环境中时,流向探头的电流根据真空度而变化,从而可以测量真空度。一般来说,皮拉尼真空计由控制器和探头组成,测量范围约为0.5Pa至2KPa。

原则上,接近测量范围下限时精度会降低,因此在压力值很重要的测量中需要使用其他真空计。还有一些皮拉尼真空计,其中探头和控制器可以分开。有些真空计只能在测量范围内使用,如果在该范围外使用就会损坏,但皮拉尼真空计很有吸引力,因为它可以在大气压下工作而无需担心。

皮拉尼真空计的应用

皮拉尼真空计用于需要真空达到控制的腔室、连接到石英管的流体回路以及需要表面清洁度的地方。具体来说,它常用于中真空区域的测量。

中真空区域是使用油回转真空泵可以达到的真空状态,例如测量碳氟化合物气体的吸入量时。皮拉尼真空计常用于高真空至超高真空抽气系统的粗抽生产线以及高真空泵的背压生产线。

然而,显示值根据气体的类型和成分而变化,因此需要提前进行充分的校准来测量绝对压力。皮拉尼真空计还用于在物理和化学实验、真空蒸发、冷冻干燥、医疗设备、分析仪、激光应用设备、真空排气设备、半导体制造设备的等离子蚀刻空间以及电子显微镜的真空包中创造真空条件。它还用于测量,例如

皮拉尼真空计原理

皮拉尼真空计是一种电阻真空计,可根据气体与携带电流的铂丝碰撞时耗散的热能来计算电流。这意味着压力是从当前值向后计算的。这个微小的压力直接对应于真空度。

皮拉尼真空计的探头内部有一根极细的铂丝,通电将其加热到200度左右。当空气撞击到这根铂丝时,热量就会从铂丝上被带走,为了将铂丝的温度维持在200度,控制器给了铂丝更多的功率。

反之,如果没有气体分子撞击铂丝,则只需少量的电量即可将铂丝的温度维持在200度。通过测量供给铂丝的电量的变化,可以测量测量环境的真空度。

此外,为了保持皮拉尼真空管的精度,铂丝的管理也很重要。铂丝会随着反复通电而磨损,达到200度比新时需要更多的电量,所以需要定期更换。另外,铂丝上附着的灰尘会影响测量精度,因此定期清洁是必要的。

有关真空计的其他信息

真空度的定义

压力分为低真空、中真空、高真空、超高真空等真空度,皮拉尼真空计可以测量从低真空到中真空。根据JIS(日本工业标准),真空度根据压力范围分为如下所示的五类。

  • 低真空:10 5 Pa~10 2 Pa
  • 中真空:10 2 Pa~10 -1 Pa
  • 高真空:10 -1 Pa~10 -5 Pa
  • 超高真空:10 -5 Pa 至 1 0-8 Pa
  • 极高真空:10 -8 Pa以下